氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢測(cè)漏氣的儀器，氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是利用氦氣分子在真空中擴(kuò)散的特性，通過將氦氣注入被檢測(cè)物體內(nèi)部或周圍環(huán)境中，然后使用氦質(zhì)譜儀檢測(cè)周圍環(huán)境中是否存在氦氣。因?yàn)楹夥肿臃浅Ｐ?，能夠穿過非常小的漏洞或裂縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀能夠檢測(cè)到非常小的漏洞或裂縫。同時(shí)，氦氣是一種非常穩(wěn)定的氣體，不會(huì)與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，不會(huì)對(duì)被檢測(cè)物體產(chǎn)生影響。